In de hele keten van de halfgeleiderindustrie is verwerking en fabricage een van de belangrijkste schakels. Met zo'n enorme markt biedt halfgeleiderprocesapparatuur de fabricagebasis voor grootschalige productie van halfgeleiders. Dit document zal zich concentreren op de belangrijkste apparatuur in het productieproces van halfgeleiders.
1, eenkristaloven;
Functie van de uitrusting: smelt halfgeleidermaterialen, trek eenkristal, voor de daaropvolgende fabricage van halfgeleiderapparaten, zorg voor een enkele kristalhalfgeleiderstaaf.
Grote internationale merken: PVA TePla AG (Duitsland), Ferrotec (Japan), QUANTUM DESIGN (VS), Gero (Duitsland), KAYEX (VS).
Grote binnenlandse merken: Beijing Jingyuntong, Seven Star Huaxuang, Beijing Jingyi Century, Hebei Jinglong Sunshine, Xi' een Jinko Technology, Changzhou Huasheng Tianlong, Shanghai Hanhong, Xi' een Huade, The 48th Institute van China Electronics Technology Group, Shanghai Shenhe Thermal Magnetic.
2. Gasfase epitaxiale oven
Uitrustingsfunctie: om een specifieke procesomgeving te bieden voor epitaxiale groei in de gasfase, om de groei van dunnelaagkristallen te realiseren met een overeenkomstige relatie met eenkristalkristalfase op het eenkristal, en om een basisvoorbereiding te maken voor de functionele realisatie van het zinken van eenkristal. Gasfase-epitaxie is een speciaal proces van chemische dampafzetting, waarbij de kristalstructuur van de dunne groeilaag een voortzetting is van het monokristallijne substraat en overeenkomt met de kristaloriëntatie van het substraat.
Grote internationale merken: CVD Equipment, GT, Soitec, AS, Proto Flex, Kurt J.Lesker, Applied Materials.
Grote binnenlandse merken: China Electronics Technology Group 48th Institute, Qingdao Cerida, Hefei Kojing Material Technology Co., LTD., Beijing Jinsheng Micro nano, Jinan Liguan Electronic Technology Co., LTD.
3. Moleculair bundelepitaxiesysteem
Apparatuurfuncties: Moleculair straalepitaxiesysteem, dat de procesapparatuur levert om de film op het bodemoppervlak te laten groeien volgens het specifieke; Moleculaire bundelepitaxie (MBEA) is een techniek voor het maken van dunne éénkristalfilms. Het wordt gebruikt om dunne films laag voor laag langs de kristalas van het substraat te laten groeien onder geschikt substraat en geschikte omstandigheden.
Grote internationale merken: Riber (Frankrijk), Veeco (VS), DCA Instruments (Finland), SVTAssociates (VS), NBM (VS), Omicron (Duitsland), MBE-Komponenten (Duitsland), Oxford Applied (VK) Research (OAR ) bedrijf.
Grote binnenlandse merken: Shenyang Zhongke Instrument co., LTD., Beijing Huidexin Technology Co., LTD., Shaoxing Kuangtai Instrument Equipment Co., LTD., Shenyang Keyou Vacuum Technology Co., LTD.
4. Oxidatieoven (VDF)
Apparatuurfunctie: voor de oxidatiebehandeling van halfgeleidermateriaal is het een onmisbare schakel in het halfgeleiderverwerkingsproces om de vereiste oxidatieatmosfeer te bieden om het verwachte ontwerp van het oxidatiebehandelingsproces van halfgeleiders te bereiken.
Grote internationale merken: UK Thermco Company, Duitsland Centrotherm Thermal Solutions GmbH Co.KG company.
Grote binnenlandse merken: Beijing Seven Star Huaxuang, Qingdao Freunde, China Electronics Technology Group 48th Institute, Qingdao Xuguang Instrument Equipment Co., LTD., China Electronics Technology Group 45th Institute.
5. Chemisch dampafzettingssysteem onder lage druk (LPCVD)
Apparatuurfunctie: de damp die het gasvormige of vloeibare reactiemiddel bevat dat de elementen van de film vormt en andere gassen die nodig zijn voor de reactie, worden in de reactiekamer van de LPCVD-apparatuur gebracht en de film wordt gegenereerd door een chemische reactie op het substraatoppervlak .
Grote internationale merken: Hitachi International Electric Company,
Grote binnenlandse merken: Shanghai Chijian Semiconductor Technology Co., LTD., China Electronics Technology Group 48th Institute, China Electronics Technology Group 45th Institute, Beijing Instrument Factory, Shanghai Machinery Factory.
6. Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition System (PECVD)
Uitrustingsfunctie: gebruik glimontlading in de afzettingskamer, laat het ioniseren en voer een chemische reactie uit op het substraat om halfgeleider dun filmmateriaal af te zetten.
Grote internationale merken: Proto Flex (VS), Tokki (Japan), Shimadsu (Japan), Lam Research (VS), ASM International (Nederland).
Grote binnenlandse merken: China Electronics Technology Group 45th Institute, Beijing Instrument-fabriek, Shanghai Machinery Factory.
7. Magnetron sputtertafel (MSA)
Apparatuurfuncties: door een gesloten magnetisch veld evenwijdig aan het doeloppervlak in het bipolaire sputteren en het orthogonale elektromagnetische veld gevormd op het doeloppervlak, is het secundaire elektron gebonden aan het specifieke gebied van het doeloppervlak, om een hoge ionendichtheid en hoge energie-ionisatie, en de doelatomen of -moleculen worden met hoge sputtersnelheid op het substraat afgezet om een film te vormen.
Grote internationale merken: PVD Company, Vaportech Company, AMAT Company, Hauzer Company, Teer Company, Platit company, Balzers company en Cemecon company.
Grote binnenlandse merken: Beijing Instrument Factory, Shenyang Zhongke Instrument co., LTD., Chengdu Nanguang Industrial Co., LTD., China Electronics Technology Group 48th Institute, Kerui Equipment Co., LTD., Shanghai Machinery Factory.
8. Chemisch-mechanische polijstmachine (CMP)
Apparatuurfunctie: door het mechanisch slijpen en chemisch oplossen van vloeistoffen"corrosie" van het gecombineerde effect, te polijsten (halfgeleider)polijsten.
Grote internationale merken: Applied Materials, Norfa Systems, Rtec.
Grote binnenlandse merken: Lanzhou Lanxin High-tech Industry Co., LTD., Alite Microelectronics.
9, lithografiemachine;
Functie van het apparaat: lijm gelijkmatig op het oppervlak van het halfgeleidersubstraat (siliciumwafel), breng het patroon op het masker over naar fotoresist en tijdelijk"kopieer" het apparaat of de circuitstructuur naar de siliciumwafel.
Grote internationale merken: ASML (Nederland), Pan Lin Semiconductor, Nikon, Canon, ABM, SUSS, MYCRO.
Grote binnenlandse merken: China Electronics Technology Group 48th Institute, China Electronics Technology Group 45th Institute, Shanghai Machinery Factory, Chengdu Nanguang Industrial Co., LTD.
10. Reactieve Ionen Ets Systeem (RIE)
Apparatuurfuncties: de hoogfrequente spanning wordt toegepast tussen de plaatelektroden om een ionenlaag van honderden micron dik te produceren, en het ionenhogesnelheidseffectpatroon wordt in het patroon geplaatst, om chemische reactie-etsing en fysieke impact te bereiken, en om halfgeleiderverwerking te bereiken en vormen.
Grote internationale merken: Japan Evatech Company, de Verenigde Staten NANOMASTER Company, Singapore REC Company, Zuid-Korea JuSung Company, Zuid-Korea TES Company.
Grote binnenlandse merken: Beijing Instrument Factory, Beijing Qixing Huachuang Electronics Co., LTD., Chengdu Nanguang Industrial Co., LTD., China Electronics Technology Group achtenveertigste Institute.
11. ICP plasma-etssysteem
Functies van de apparatuur: een of meer gasatomen of moleculen gemengd in de reactiekamer, onder invloed van externe energie (zoals radiofrequentie, microgolf, enz.) om een plasma te vormen, enerzijds de actieve groep in het plasma en het oppervlaktemateriaal dat moet worden geëtst chemische reactie, waarbij vluchtige producten worden gegenereerd; Aan de andere kant worden de ionen in het plasma geleid en versneld onder invloed van voorspanning om richtingscorrosie en versnelde corrosie van het geëtste oppervlak te realiseren.
Grote internationale merken: Oxford Instruments (VK), Torr (VS), Gatan (VS), Quorum (VK), Leeman (VS), Pelco (VS).
Grote binnenlandse merken: Beijing Instrument Factory, Beijing Qixing Huachuang Electronics Co., Ltd., China Electronic Technology Group 48th Institute, Goder ion Technology (Hong Kong) Holding Co., Ltd., Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences, North Microelectronics , Beijing Oriental Jicheng Co., Ltd., Beijing Trands Weina Technology.
12, natte ets- en reinigingsmachine
Uitrustingsfunctie: Nat etsen is het etsmateriaal gedrenkt in etsoplossing voor corrosietechnologie. Reiniging is bedoeld om verontreiniging te verminderen, die de prestaties van het apparaat kan beïnvloeden, tot betrouwbaarheidsproblemen kan leiden en de opbrengst kan verminderen, wat een grondige reiniging vereist vóór elke laag van het volgende proces of vóór de volgende laag.
Grote internationale merken: Screen (Japan), SEMES (Korea), Tokyo Electron (Japan), Lam Research (Amerika).
Grote binnenlandse merken: Nantong Hualin Kona Semiconductor Equipment Co., LTD., Beijing Qixing Huaxuang Electronics Co., LTD., China Electronics Technology Group 45th Institute, Taiwan Hongsu.
13. Ionenimplantatiemachine (IBI)
Uitrustingsfunctie: dotering van het gebied nabij het oppervlak van de halfgeleider.
Grote internationale merken: Varian Semiconductor Equipment, Inc., CHA, INC., AMAT, Inc. en Varian Semiconductor Manufacturing Equipment, Inc. (overgenomen door AMAT).
Grote binnenlandse merken: Beijing Instrument Factory, China Electronics Technology Group 48th Institute, Chengdu Nanguang Industrial Co., LTD., Shenyang Fangji Light Industry Machinery Co., LTD., Shanghai Silicon Top Microelectronics Co., LTD.
14, sonde-testbank;
Apparaatfunctie: via het sondecontact met het kussen van het halfgeleiderapparaat wordt een elektrische test uitgevoerd om te controleren of de prestatie-index van de halfgeleider voldoet aan de ontwerpprestatie-eisen.
Grote internationale merken: Duitsland Ingun-bedrijf, QA-bedrijf, MicroXact-bedrijf, Ecopia-bedrijf, Leeno-bedrijf.
Grote binnenlandse merken: China Electronics Technology Group 45th Institute, Beijing Qixing Huachuang Electronics Co., LTD., Ruike Instruments, Huarong Group, Shenzhen Senmei Xieer Technology.
15. Wafeldunningsmachine
Functie: verminder de dikte van het wafeltje door te polijsten.
Internationale hoofdmerken: Japan DISCO Company, Duitsland G&N company, Japan OKAMOTO company, Israel Camtek company.
Grote binnenlandse merken: Lanzhou Lanxin High-tech Industry Co., LTD., Shenzhen Fonda Grinding Equipment Manufacturing Co., LTD., Shenzhen Jinzhili Precision Grinding Machine Manufacturing Co., LTD., Weianda Grinding Equipment Co., LTD., Shenzhen Hunnifeng Technology Co., Ltd.
16. Wafelschrijfmachine (DS)
Apparaatfunctie: de wafel, in kleine stukjes gesneden.
Grote internationale merken: Duitsland OEG Company, Japan DISCO Company.
Grote binnenlandse merken: China elektronica-technologiegroep, Beijing kechuang door te beginnen met bron foto-elektrische technologie co., LTD., shenyang instituut voor instrumentatietechnologie, de noordwestelijke machine co., ltd., (709 fabriek) hebben de noordwestelijke machinefabriek, hui sheng elektronische elektronische machines en apparatuur bedrijf, lanzhou: laser, een high-tech industrie co., ltd., shenzhen ruby laser apparatuur co., ltd., Wu Hansan werknemer, zhuhai Lianoptronics, Zhuhai Yuemao Technology.
17. Draadbonder
Apparaatfunctie: Verbind de Pad op de halfgeleiderchip met de Pad op de pin met de geleidende metalen draad (gouddraad).
Grote internationale merken: Amerikaanse Ottey, Duitse TPT, Oostenrijk FK, Maleisië UNISEM.
Grote binnenlandse merken: China Electronics Technology Group 45th Institute, Beijing Transhijie Technology Development Co., LTD., Yuxin (Chengdu) Integrated Circuit Packaging and Testing Co., LTD. (Maleisië Yunisan Investment), Shenzhen Kaijiu Automation Equipment Co., LTD.